发明名称 PLASMABEHANDLUNG ZUR ERZEUGUNG VON ELEKTRONENQUELLEN
摘要
申请公布号 DE69904566(D1) 申请公布日期 2003.01.30
申请号 DE19996004566 申请日期 1999.01.05
申请人 E.I. DU PONT DE NEMOURS AND CO., WILMINGTON;THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA, OAKLAND 发明人 COATES, MAYO;WALTER, CARL
分类号 H01J9/02;C23F4/00;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H01J9/02
代理机构 代理人
主权项
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