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发明名称
PLASMABEHANDLUNG ZUR ERZEUGUNG VON ELEKTRONENQUELLEN
摘要
申请公布号
DE69904566(D1)
申请公布日期
2003.01.30
申请号
DE19996004566
申请日期
1999.01.05
申请人
E.I. DU PONT DE NEMOURS AND CO., WILMINGTON;THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA, OAKLAND
发明人
COATES, MAYO;WALTER, CARL
分类号
H01J9/02;C23F4/00;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32
主分类号
H01J9/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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