使用空间光调制器的图形产生系统

摘要

在对光辐射灵敏的工件诸如光掩膜、显示板或者微型光学器件上制作图形的一种系统，包括从EUV到IR的波长范围内发射光脉冲的一种源，具有至少一个调制元件(象素)并适合于被至少一种发射的光脉冲照射的一种空间光调制器(SLM)，以及在工件上制作调制器图像的投影系统。另外，该系统包括一种快速脉冲探测器，它探测每个单独脉冲的输出脉冲能量以及对每个所述单独脉冲产生与所述单独脉冲的输出脉冲能量对应的一种信号，响应时间在纳秒或亚纳秒范围内来阻塞每个脉冲区段的开关，配置所述开关以被来自所述快速脉冲探测器的所述信号控制，以便在所述单独脉冲的输出脉冲能量测量结果的基础上将每个单独脉冲的能量输出控制为近似所需的能量输出。

主权项

1.一种在对光辐射敏感的工件诸如光掩膜、显示板或者微光器件上产生图形的系统，包括从EUV到IR的波长范围内发射光脉冲的一种源，具有至少一个调制元件(象素)并适合于被至少一种发射的光脉冲照射的一种空间光调制器(SLM)，以及在工件上产生调制器图像的投射系统，其特征在于它还包括一个快脉冲探测器，以探测每个单独脉冲的输出脉冲能量，以及对每个所述单独脉冲产生与所述单独脉冲的输出脉冲能量对应的一种信号，一个开关，响应时间在纳秒或亚纳秒范围内来阻断每个脉冲的各个部分，配置所述开关以被来自所述快脉冲探测器的所述信号控制，以便在所述单独脉冲的输出脉冲能量测量结果的基础上将每个单独脉冲的能量输出控制为近似所需的能量输出。