| 发明名称 |
LADUNGSSCHLEUSENVORRICHTUNG FÜR EIN IONENIMPLANTIERUNGSSYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69713065(T2) |
申请公布日期 |
2003.01.23 |
| 申请号 |
DE19976013065T |
申请日期 |
1997.02.14 |
| 申请人 |
AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
ROSE, JOHN;BRAILOVE, A. |
| 分类号 |
C23C14/48;H01J27/14;H01J37/08;H01J37/18;H01J37/20;H01J37/30;H01J37/317;H01L21/00;H01L21/265;H01L21/677;H01L21/683;(IPC1-7):H01J37/18 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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