半导体器件及其生产方法

摘要

一种半导体器件，使主电极垫片能与互连图案可靠地电连接，无需除已有主电极垫片之外再单独提供通路孔使用的电极垫片，该半导体器件具有硅基片(半导体基片)、在该硅基片的一个表面上形成的电子元件形成层、与该电子元件形成层电连接的电极垫片、穿过该电极垫片和硅基片的通孔、在该电极垫片上的SiO₂膜中沿通孔开口边缘形成的通路孔、以及互连图案，该互连图案把电极垫片经由通孔和通路孔电引导到硅基片的另一表面。

主权项

1.一种半导体器件，包含：半导体基片；在所述半导体基片一个表面上形成的电子元件；在所述一个表面上形成的并与所述电子元件电连接的电极垫片；穿过所述电极垫片和所述半导体基片的通孔；在至少是所述半导体基片的另一表面上、所述通孔的内壁以及所述电极垫片上形成的绝缘膜；在所述电极垫片上的所述绝缘膜中沿所述通孔的开口边缘提供的通路孔；以及互连图案，通过所述通孔和所述通路孔把所述电极垫片电引导到所述半导体基片的另一表面。