光掩模板

摘要

公开了一种透光埋置相移器光掩模板，其包括光学上不均匀衰减薄膜，该膜有至少0.001的透光度和基本上由金属组分和电介质组分组合而成。薄膜的一个表面有比另一表面较高含量的金属组分，贯穿整个薄膜厚度，消光系数变化的分布呈缓变状态。选择消光系数变化的分布和薄膜厚度，在选定波长的情况下，提供大约180°的相移(或者它的奇数倍相移)。

主权项

1.一种用于选定波长的透光埋置的相移器光掩模板，其包括一个具有至少0.001透光度的光学不均匀衰减薄膜，并且基本上由金属组分和电介质组分组合而成，所述金属组分和电介质组分包括含金属的氧—碳—氮材料；其中薄膜的一个表面具有比另一表面较高含量的金属组分，贯穿整个薄膜厚度，消光系数变化的分布呈缓变状态；选择所述的变化的分布和薄膜厚度，在选定波长的情况，提供180°+10℃或者其奇数倍的相移。