发明名称 TIEFE AUSNEHMUNG IN EINER FLACHGRABEN-ISOLATION FÜR EINEN PFET MIT EINEM VERGRABENEN KANAL
摘要
申请公布号 AT230520(T) 申请公布日期 2003.01.15
申请号 AT19990308122T 申请日期 1999.10.14
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION;SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 JOACHIM, HANS-OLIVER;MANDELMAN, JACK A;RENGARAJAN, RAJESH
分类号 H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092;(IPC1-7):H01L27/092 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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