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发明名称
TIEFE AUSNEHMUNG IN EINER FLACHGRABEN-ISOLATION FÜR EINEN PFET MIT EINEM VERGRABENEN KANAL
摘要
申请公布号
AT230520(T)
申请公布日期
2003.01.15
申请号
AT19990308122T
申请日期
1999.10.14
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION;SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
JOACHIM, HANS-OLIVER;MANDELMAN, JACK A;RENGARAJAN, RAJESH
分类号
H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092;(IPC1-7):H01L27/092
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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