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摘要
申请公布号
JP3366722(B2)
申请公布日期
2003.01.14
申请号
JP19940040775
申请日期
1994.03.11
申请人
发明人
分类号
G03F7/027;B32B15/08;B32B27/00;G03F7/028;G03F7/033;H05K3/06;H05K3/42;(IPC1-7):G03F7/028
主分类号
G03F7/027
代理机构
代理人
主权项
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