发明名称 Verfahren zum Kontaktieren von Halbleitersystemen
摘要
申请公布号 DE1223061(B) 申请公布日期 1966.08.18
申请号 DE1964T025802 申请日期 1964.03.12
申请人 TELEFUNKEN PATENTVERWERTUNGSGESELLSCHAFT M.B.H. 发明人 LOTZ JOHANNES
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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