一种波前传感器

摘要

本发明公开了一种由微光学技术或二元光学技术制作的集成式哈特曼波前传感器,是由微透镜阵列和背照式CCD探测器构成的集成芯片。微透镜阵列的子透镜单元映射到CCD探测器的光敏靶面上像素区域内所包含的像素不少于2×2。本发明的结构保证了微透镜阵列与CCD探测器之间的相对位置完全固定,避免了复杂的耦合装调技术,结构简单、稳定,减小了振动对传感器精度的影响,能在较恶劣条件下工作,可用于自适应光学系统。

主权项

1、一种哈特曼波前传感器，包括微透镜阵列(1)和背照式CCD探测器(2)，微透镜阵列(1)的焦平面和背照式CCD探测器(2)的光敏靶面(3)重合；其特征在于：该哈特曼波前传感器是由背照式CCD探测器(2)，和在其上制作成的微透镜阵列(1)构成的集成芯片，集成芯片的正面是由多个子透镜(4)组成的一维或二维的微透镜阵列(1)，其反面是背照式CCD探测器(2)的光敏靶面(3)；微透镜阵列(1)和子透镜(4)具有各种形状，每个子透镜(4)与背照式CCD探测器(2)光敏靶面(3)上(n×m)个像素的位置相对应，其中，有n＝1～N，m＝1～M，并须满足min(N×M)≮(2×2)，min(N，M)≥(2，2)。