发明名称 激光切割用粘结带
摘要 一种在激光器通过喷水引导的激光切割中使用的激光切割用粘结带,该激光切割用粘结带的基材能透过上述喷水的喷射水流。
申请公布号 CN1385881A 申请公布日期 2002.12.18
申请号 CN02124672.6 申请日期 2002.04.23
申请人 古河电气工业株式会社 发明人 丸山弘光;矢野正三;森田彻;玉川有理
分类号 H01L21/302;H01L21/68;C09J7/02 主分类号 H01L21/302
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 范明娥;张平元
主权项 1.一种激光切割用粘结带,其是一种在激光器通过喷水引导的激光切割中使用的粘结带,其特征在于,该带的基材能透过上述喷水的喷射水流。
地址 日本东京都
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