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发明名称 METHOD FOR DEPOSITING AMORPHOUS SILICON LAYERS THAT CONTAIN HYDROGEN
摘要
申请公布号 EP1264000(A1) 申请公布日期 2002.12.11
申请号 EP20010936062 申请日期 2001.03.08
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 SZYSZKA, BERND DR;KLAGES, CLAUS-PETER;JIANG, XIN;JUNG, THOMAS
分类号 C23C14/00;C23C14/16;(IPC1-7):C23C14/00 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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