发明名称 Process for forming a low ohmic contact between a metallic layer and a semiconductor material
摘要
申请公布号 EP0704894(B1) 申请公布日期 2002.12.04
申请号 EP19950114958 申请日期 1995.09.22
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 WERNER, WOLFGANG, DR.;WIESINGER, KLAUS, DR.;PREUSSGER, ANDREAS, DR.
分类号 H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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