| 发明名称 | 用于光刻胶的抗反射涂料 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种抗反射涂料组合物,包括以下物质的混合物:a)由以下结构(I)定义的聚合物,其中R<SUB>1</SUB>和R<SUB>2</SUB>独立地为氢、或C<SUB>1</SUB>－C<SUB>5</SUB>烷基,R<SUB>3</SUB>是甲基、乙基、丙基或丁基,R<SUB>4</SUB>－R<SUB>7</SUB>独立地为氢、或C<SUB>1</SUB>－C<SUB>5</SUB>烷基,n=10－5000;(b)含氟、微水溶性(在水中,0.1－10%重量)有机C<SUB>3</SUB>－C<SUB>13</SUB>脂族羧酸;(c)非金属氢氧化物;和(d)溶剂。本发明还涉及一种生产该抗反射涂料组合物的方法和一种与光刻胶组合物结合使用该抗反射涂料组合物来生产微电子设备的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN1382268A | 申请公布日期 | 2002.11.27 |
| 申请号 | CN00811514.1 | 申请日期 | 2000.08.04 |
| 申请人 | 科莱恩金融(BVI)有限公司 | 发明人 | S·S·迪克斯特;M·D·拉曼;D·N·坎纳;J·E·奥博兰德;D·L·杜哈姆 |
| 分类号 | G03F7/09;C09D179/02 | 主分类号 | G03F7/09 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 陈季壮 |
| 主权项 | 1.一种用于生产抗反射涂料组合物的方法，包括：a)提供一种由以下结构定义的聚合物：<img file="A0081151400021.GIF" wi="1137" he="415" />其中：R<sub>1</sub>和R<sub>2</sub>独立地为氢、或C<sub>1</sub>-C<sub>5</sub>烷基R<sub>3</sub>是甲基、乙基、丙基或丁基R<sub>4</sub>-R<sub>7</sub>独立地为氢、或C<sub>1</sub>-C<sub>5</sub>烷基n＝10-50000(b)通过提供以下物质的混合物，配制一种抗反射涂料组合物：(1)重均分子量为约1000-500000的来自步骤a)的聚合物；(2)含氟、微水溶性(在水中，0.1-10％重量)有机C<sub>3</sub>-C<sub>13</sub>脂族羧酸；(3)非金属氢氧化物；和(4)溶剂。 | ||
| 地址 | 英属维尔京群岛托尔托拉 | ||