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发明名称
摘要
申请公布号 JP3349851(B2) 申请公布日期 2002.11.25
申请号 JP19940320545 申请日期 1994.12.22
申请人 发明人
分类号 C23C22/00;C23C22/07;C23C22/10;C23C22/34;C23C22/36;(IPC1-7):C23C22/36 主分类号 C23C22/00
代理机构 代理人
主权项
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