| 主权项 |
1.一种内引脚打线装置,特征在于:具有打线载台,把半导体晶片吸附固定住并往工件下方移动;打线头部,配置于用来导引工件的工件导件一侧且可沿着XY轴被驱动;打线工具,配置于工件上方且以可上下移动之方式设在前述打线头部;辨识用摄影机,设置于前述打线头部之偏离打线工具之位置上;及工具清洁部,以相对于打线位置之方式配置在工件导件另一侧;并且当辨识用摄影机移动至打线位置时,工具清洁部之有效清洁面位于打线工具之下方。2.一种内引脚打线装置,特征在于:具有打线载台,把半导体晶片吸附固定住并往工件下方移动;打线头部,配置于用来导引工件的工件导件之一侧且可沿着XY轴被驱动;打线工具,配置于工件上方且以可上下移动之方式设在前述打线头部;辨识用摄影机,设置于前述打线头部之偏离打线工具之位置上;及工具清洁部,配设在打线位置延伸线(平行于前述辨识用摄影机与前述打线工具间连接线)线上之工件导件另一侧,或者是在前述辨识用摄影机与前述打线工具间连接线之延长线上相对于打线位置之工件导件另一侧,当辨识用摄影机移动至打线位置时位于打线工具下方工具清洁部。3.如申请专利范围第1项或第2项之内引脚打线装置,其中工具清洁部是由磨石及相邻设于工件导件侧之刷子所构成。图式简单说明:图1系本发明内引脚打线装置之一种实施形态,(a)为俯视图,(b)为前视图,(c)为侧视图。图2系打线工具位于打线位置上方时之示意图,(a)为俯视图,(b)为侧视图。图3系辨识用摄影机不在打线位置正上方时,显示辨识用摄影机与打线工具之关系,以及打线位置与工具清洁部间之关系。 |
