液晶玻璃基板的化学抛光方法及化学抛光装置

摘要

本发明提供一种能使液晶玻璃基板循环再利用、对于液晶玻璃基板进行化学抛光的方法及化学抛光装置。所使用的化学抛光液由氢氟酸及其盐的混合液(其中的氢氟酸盐为氟化铵、氟化钾和氟化钠中的任一种或者多种),盐酸、硫酸、磷酸和硝酸等无机酸的一种或多种,醋酸和琥珀酸等有机酸的一种或者其混合物,磺酸盐类阴离子表面活性剂以及胺类两性表面活性剂组成。

主权项

1.液晶玻璃基板的化学抛光方法，其特征是，将液晶玻璃基板浸渍在化学抛光液中，使液晶玻璃基板的外表面以0.5～10μm/分钟的速度进行抛光，所述化学抛光液含有氢氟酸和氟化物的混合液、含有盐酸、硫酸、磷酸和硝酸的一种或多种的无机酸、含有醋酸和琥珀酸的一种或者多种的有机酸、含有磺酸盐类表面活性剂的阴离子表面活性剂以及胺类两性表面活性剂，其中所述的氟化物包括氟化铵、氟化钾和氟化钠中的一种或多种。