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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF POLYSILICON
摘要
申请公布号 EP1257684(A1) 申请公布日期 2002.11.20
申请号 EP20000955754 申请日期 2000.08.17
申请人 GT EQUIPMENT TECHNOLOGIES INC. 发明人 CHANDRA, MOHAN;JAFRI, IJAZ;GUPTA, KEDAR;PRASAD, VISHWANATH;TALBOTT, JONATHAN
分类号 C01B33/02;C01B33/027;C23C16/24;C30B29/06;(IPC1-7):C23C16/24;C01B33/035 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
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