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发明名称 ION BEAM SCANNING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0263876(B1) 申请公布日期 2002.11.13
申请号 EP19870903080 申请日期 1987.04.08
申请人 VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES INC. 发明人 BERRIAN, DONALD, W.;KAIM, ROBERT, E.;VANDERPOT, JOHN, W.
分类号 H01J37/04;H01J37/147;H01J37/304;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/08;H01J37/14 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
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