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发明名称 Verfahren zur Ausformung eines Halbleiterkoerpers
摘要
申请公布号 DE2149247(A1) 申请公布日期 1972.04.13
申请号 DE19712149247 申请日期 1971.10.02
申请人 WESTERN ELECTRIC CO,INC. 发明人 LEE MEEK,RONALD
分类号 H01L21/3063;H01L21/762;H01L27/144 主分类号 H01L21/3063
代理机构 代理人
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