| 发明名称 |
SELF-ALIGNED DUAL DAMASCENE ETCH USING A POLYMER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1254480(A1) |
申请公布日期 |
2002.11.06 |
| 申请号 |
EP20010908899 |
申请日期 |
2001.02.07 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES NORTH AMERICA CORP. |
发明人 |
BRASE, GABRIELA |
| 分类号 |
H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768;H01L23/532 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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