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<p>본 발명은, 내부공간의 바닥면에 기상유기물을 증착시킬 모재를 안착시키는 모재 안착부와 모재 안착부 상단에 위치하여 기상유기물을 상기 모재 안착부 방향으로 분사하는 분사부와 내부 벽면에 열을 발산하는 하나 이상의 보온히터를 포함하여 구성되는 증착 챔버와, 내열재의 재질로 유기물을 저장할 수 있도록 내부공간을 구비하는 도가니와 도가니를 가열하는 유기물 가열히터를 내부에 포함하는 유기물 챔버와, 유기물 챔버 내부로 인입되는 운반가스의 양과 유속을 제어하는 유량 제어부와, 유기물 챔버 내의 기상유기물이 상기 분사부로 이동할 수 있도록 관의 형상으로 이루어진 기상유기물 이송관과, 상기 증착 챔버의 내부 압력을 낮추는 진공펌프를 포함하여 구성되는 기상유기물 증착장치과 기상유기물 증착방법을 제공하는데 목적이 있다.</p> |
