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发明名称 PROCESS AND APPARATUS FOR CLEANING SILICON WAFERS
摘要
申请公布号 EP1250712(A2) 申请公布日期 2002.10.23
申请号 EP20010904990 申请日期 2001.01.19
申请人 LOXLEY, TED ALBERT 发明人 LOXLEY, TED ALBERT
分类号 H01L21/304;B08B3/10;C23G1/02;C23G1/14;C25F1/00;H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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