发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur Änderung der Spannungsdoppelbrechung und/oder der Dicke eines optischen Bauteils
摘要 Eine Vorrichtung dient zur Änderung der Spannungsdoppelbrechung und/oder der Dicke (d bzw. D) eines optischen Bauteils (1) durch eine mittels Spannung verursachte elastische Deformation. Das optische Bauteil (1) ist an einem wenigstens annähernd senkrecht zur optischen Achse (6) angeordneten Umfang wenigstens annähernd ganz von wenigstens einem Spannelement (2, 7, 8) umfaßt. Das wenigstens eine Spannelement (2, 7, 8) ist durch wenigstens einen Aktuator (5, 10) betätigbar. DOLLAR A Bei einem Verfahren hierzu wird das optische Bauteil (1) mittels einer Druckspannung beaufschlagt, wobei die elastische Deformation über eine Veränderung der Druckspannung variiert wird.
申请公布号 DE10206478(A1) 申请公布日期 2002.10.17
申请号 DE20021006478 申请日期 2002.02.16
申请人 CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG 发明人 LABUS, RAINER
分类号 G02B5/30;G02B26/00;G03F7/20;(IPC1-7):G02F1/19;G02B7/04;G02B5/00 主分类号 G02B5/30
代理机构 代理人
主权项
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