发明名称 彩色显象管制造用曝光装置
摘要 本发明涉及彩色显象管制造用曝光装置对荧光屏面板进行曝光,包括细长形光源灯以及设置成面对此灯的遮光构件。在遮光构件上形成光源灯光透过缝隙,该缝隙具有向光源灯一侧凸的V字形状。遮光构件在其沿光源灯管轴方向的剖面具有厚度从缝隙开口边缘向管轴方向端部增厚的楔形,同时在其缝隙位置处的沿垂直于管轴方向横截面的厚度均匀,具有能使缝隙位置保持稳定、荧光屏制造质量高等优点。
申请公布号 CN1092347C 申请公布日期 2002.10.09
申请号 CN98109863.0 申请日期 1998.06.09
申请人 东芝株式会社 发明人 增村哲也;表克己
分类号 G03F7/20;H01J9/227 主分类号 G03F7/20
代理机构 上海专利商标事务所 代理人 王树俦
主权项 1.一种彩色显象管制造用曝光装置,包括具有管轴的细长形光源及对该光源进行冷却的冷却装置、设置成面对上述光源并具有让上述光源灯光通过缝隙的板状遮光构件、设置成面对上述遮光构件的透光窗以及将上述光源、遮光构件及透光窗支承的灯体,其特征在于上述遮光构件的缝隙具有沿垂直于上述源光管轴方向延伸、同时向上述光源一侧凸出的V字形,上述遮光构件沿垂直于上述光源管轴方向的横截面,在上述缝隙位置、其厚度均匀,在其沿平行于上述光源管轴方向的截面具有从上述缝隙开口边缘向上述管轴方向端部厚度增厚的楔形。
地址 日本神奈川