| 摘要 |
<p>Ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Kalibrierung eines Messinstrumentes mit mindestens zwei gegeneinander beweglichen Teilsystemen (K;M) und mit Mitteln zur Erzeugung einer Abbildung mindestens eines ersten Teilsystems (K) auf mindestens eine detektierende Komponente (A) wenigstens eines Teilsystems, bei denen nach dem Erstellen eines mathematischen Modells ein Parametersatz, der Einflussfaktoren auf systematische Messfehler des Messinstrumentes quantifiziert, mit mindestens einem Parameter aus dem mathematischen Modell abgeleitet wird. Darauf erfolgt die Abbildung von die relative Lage eines Teilsystems bestimmenden Strukturelementen (S) eines ersten Teilsystems (K) auf einem zweiten Teilsystem (M), ein Umwandeln der Abbildung der Strukturelemente (S) des ersten Teilsystems (K) in Signale durch die detektierende Komponente (A), und ein Aufnehmen mindestens eines Signalvektors. Aus den geschätzten Werten des Parametersatzes werden Korrekturwerte, die systematische Messfehler des Messinstrumentes reduzieren, abgeleitet und bereitgestellt. <IMAGE></p> |
