发明名称 PROCESS FOR FABRICATING INFRARED DETECTOR ARRAYS AND RESULTING ARTICLE OF MANUFACTURE
摘要
申请公布号 US3577631(A) 申请公布日期 1971.05.04
申请号 USD3577631 申请日期 1967.05.16
申请人 TEXAS INSTRUMENT INC. 发明人 ERNEST G. BYLANDER;HALL E. JARMAN
分类号 C23F1/02;H01L21/308;H01L27/146;(IPC1-7):B01J17/00;H01C7/08 主分类号 C23F1/02
代理机构 代理人
主权项
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