发明名称 |
PROCESS FOR FABRICATING INFRARED DETECTOR ARRAYS AND RESULTING ARTICLE OF MANUFACTURE |
摘要 |
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申请公布号 |
US3577631(A) |
申请公布日期 |
1971.05.04 |
申请号 |
USD3577631 |
申请日期 |
1967.05.16 |
申请人 |
TEXAS INSTRUMENT INC. |
发明人 |
ERNEST G. BYLANDER;HALL E. JARMAN |
分类号 |
C23F1/02;H01L21/308;H01L27/146;(IPC1-7):B01J17/00;H01C7/08 |
主分类号 |
C23F1/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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