Verfahren zum Erzeugen akustischer Dünnfilmvolumenresonatoren (FBARs) mit unterschiedlichen Frequenzen auf einem einzelnen Substrat und Vorrichtung, die das Verfahren beinhaltet

摘要

Ein Verfahren zum Erzeugen eines Resonators und insbesondere eines akustischen Volumendünnfilmresonators (FBAR) und ein Resonator, der das Verfahren beinhaltet, sind offenbart. Ein FBAR wird auf einem Substrat hergestellt, indem eine obere Massenbelastungselektrodenschicht eingeführt wird. Für ein Substrat, das mehrere Resonatoren aufweist, wird die obere Massenbelastungselektrodenschicht für nur einen ausgewählten Resonator eingeführt, um Resonatoren, die unterschiedliche Resonanzfrequenzen aufweisen, auf dem gleichen Substrat zu liefern.