| 发明名称 |
METHOD FOR DETERMINING THE ENDPOINT OF ETCH PROCESS STEPS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL148750(D0) |
申请公布日期 |
2002.09.12 |
| 申请号 |
IL20000148750 |
申请日期 |
2000.09.28 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES SC300 GMBH & CO. KG;INFINEON TECHNOLOGIES AG;MOTOROLA, INC. |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/302;H01J37/32;H01L21/3065;H01L21/66;(IPC1-7):H01L |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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