| 发明名称 |
Vorrichtung zur Materialbearbeitung, Datenaufzeichnung oder Datenwiedergabe mit Rastersondenmikroskop |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69806995(D1) |
申请公布日期 |
2002.09.12 |
| 申请号 |
DE1998606995 |
申请日期 |
1998.04.09 |
| 申请人 |
SEIKO INSTRUMENTS INC., CHIBA |
发明人 |
TOMITA, EISUKE |
| 分类号 |
G01N37/00;G01B7/28;G01B7/34;G01N27/00;G01Q10/04;G01Q10/06;G01Q20/00;G01Q30/12;G01Q30/16;G01Q60/10;G01Q60/18;G01Q60/32;G01Q60/50;G01Q70/10;G01Q80/00;G01Q90/00;G11B9/00;G11B9/14;H01J37/04;H01J37/30;H01L21/66;(IPC1-7):G11B9/00 |
主分类号 |
G01N37/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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