发明名称 INSPECTION METHOD, INSPECTION DEVICE, AND MANUFACTURING METHOD FOR DISPLAY PANEL
摘要 <p>L'invention concerne un procédé et un dispositif de contrôle, ainsi qu'un procédé pour fabriquer un panneau d'affichage, ce procédé permettant de réaliser un substrat de haute qualité et de grande fiabilité. Selon ce procédé, on détermine les conditions optiques optimales pour le contrôle de l'aspect de la surface de l'objet à contrôler, notamment les caractéristiques de sa structure, on effectue le contrôle minutieux en réfléchissant les conditions déterminées sur le dispositif de contrôle pour augmenter un taux de rendement sans diminuer un rapport. Le dispositif de contrôle comprend un dispositif d'éclairage, un dispositif d'imagerie et un dispositif de traitement de signaux. Le procédé de contrôle consiste à mesurer les signaux clairs et sombres d'une pluralité de couches de substance fluorescente, tout en déplaçant le substrat ou le dispositif d'éclairage, et le dispositif d'imagerie en direction de l'intersection des couches de substance fluorescente appliquées sur le substrat à intervalles donnés, puis à mesurer la quantité de revêtement appliqué pour chaque couche de substance fluorescente à l'aide des signaux obtenus.</p>
申请公布号 WO2002071023(P1) 申请公布日期 2002.09.12
申请号 JP2002001854 申请日期 2002.02.28
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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