| 主权项 |
1.一种正排量送液装置,该装置包含: 一个正排量容积帮浦,该帮浦包含有送液腔室之壳 体,该腔室被一个有弹性的膈膜分隔,并有一个膈 膜驱动系统连接到该膈膜,以从该送液腔室送出流 体;以及 一个差压式控制单位,用来于该泵送过程期间控制 膈膜两侧的压力差于一个恒定値。2.如申请专利 范围第1项之正排量送液装置,其中之该膈膜构成 一个风箱状容器。3.如申请专利范围第1项之正排 量送液装置,其中,大气压力被施加于该膈膜两侧 中之一侧。4.如申请专利范围第1项之正排量送液 装置,其中之该差压式控制单位包含: 一个差压式感测器,用来侦测该膈膜两侧的压力差 ;以及 一个控制阀,该控制阀根据来自该差压式感测器之 讯号,控制从该送液腔室所送出之该液体的流量。 5.如申请专利范围第4项之正排量送液装置,进一步 包含:一个流动感测器,该感测器设置在一个送出 通道上;以及 于该泵送过程中,该送液腔室于压力超过一个设定 値,或压力变化率的绝对値超过一个设定値时,根 据来自该流动感测器之讯号来执行操控。6.如申 请专利范围第1项之正排量送液装置,其中安排该 送液腔室,以致于一次冲程中获得所需的该流体的 送出量。7.如申请专利范围第1项之正排量送液装 置,其中,使用气体于施压在该膈膜与该送液腔室 相反侧之空间。8.如申请专利范围第1项之正排量 送液装置,更进一步包含复数个正排量容积帮浦, 那些帮浦被安排成并联形式,并输送不同种类的流 体至一个单一处理单位。9.如申请专利范围第1项 之正排量送液装置,包含二个正排量帮浦交替地输 送同样种类的流体,并以连续方式输送该流体到一 个单一处理单位。10.一种正排量送液装置,该装置 包含: 一个正排量容积帮浦,该帮浦包含有送液腔室之壳 体,该腔室被一个有弹性的膈膜分隔,并有一个膈 膜驱动系统连接到该膈膜,以从该送液腔室送出流 体;以及 在该腔室中以该膈膜驱动单位驱动该膈膜,以维持 根据膈膜两侧之压力差变化以一个恒定的速率从 该送液腔室所送出液体的流量。11.如申请专利范 围第10项之正排量送液装置,其中安排该送液腔室, 以致于一次冲程中获得所需的该流体的送出数量 。12.如申请专利范围第10项之正排量送液装置,其 中,使用气体于施压在该膈膜与该送液腔室相反侧 之空间。13.如申请专利范围第10项之正排量送液 装置,更进一步包含复数个正排量容积帮浦,那些 帮浦被安排成并联形式,并输送不同种类的流体至 一个单一处理单位。14.如申请专利范围第10项之 正排量送液装置,包含二个正排量帮浦交替地输送 同样种类的流体,并以连续方式输送该流体到一个 单一处理单位。15.一种正排量送液装置,该装置包 含: 一个正排量容积帮浦,该帮浦包含有送液腔室之壳 体,该腔室被一个有弹性的膈膜分隔,并有一个膈 膜驱动系统连接到该膈膜,以从该送液腔室送出流 体; 以及一个从该送液腔室延伸之送出通道; 一个止逆阀设置在该送出通道上;以及 一个压力控制单位,用来控制该止逆阀的该一次侧 压力,以免于泵送过程停止时下降至从该送液腔室 所送出流体的蒸汽压力以下。16.如申请专利范围 第15项之正排量送液装置,其中该压力控制单位包 含一个控制阀设置于该止逆阀上游侧,并于帮浦停 止期间调节该送液腔室之压力于泵送操作所需要 之压力。17.如申请专利范围第15项之正排量送液 装置,其中该压力控制单位包含一个控制阀设置于 该止逆阀上游侧,并于帮浦停止期间调节该送液腔 室之压力到高于泵送操作所需要之压力,其超过之 量相当于由该止逆阀和控制阀间之该管线体积膨 胀所估计得的数量。18.如申请专利范围第15项之 正排量送液装置,其中安排该送液腔室,以致于一 次冲程中获得所需的该流体的送出数量。19.如申 请专利范围第15项之正排量送液装置,其中,使用气 体于施压在该膈膜与该送液腔室相反侧之空间。 20.如申请专利范围第15项之正排量送液装置,更进 一步包含复数个正排量容积帮浦,那些帮浦被安排 成并联形式,并输送不同种类的流体至一个单一处 理单位。21.如申请专利范围第15项之正排量送液 装置,包含二个正排量帮浦交替地输送同样种类的 流体,并以连续方式输送该流体到一个单一处理单 位。22.一种淀积装置包含如申请专利范围第1项之 一种正排量送液装置:包含, 一个汽化器,用来汽化由该正排量送液装置供给之 馈入流体;以及 一个淀积腔室,利用从该汽化器供给之该馈入气体 在该淀积腔室内形成薄膜。23.一种淀积装置包含 如申请专利范围第10项之正排量送液装置: 一个汽化器,用来汽化由该正排量送液装置供给之 馈入流体;以及 一个淀积腔室,利用从该汽化器供给之该馈入气体 在该淀积腔室内形成薄膜。24.一种淀积装置包含 如申请专利范围第15项之正排量送液装置: 一个汽化器,用来汽化由该排量送液装置供给之馈 入流体;以及 一个淀积腔室,利用从该汽化器供给之该输入气体 在该淀积腔室内形成薄膜。图式简单说明: 第1图是本发明的第一实施例之概要图,表示一个 正排量型送液装置。 第2图是表示第4图的该正排量型送液装置的部分 之放大图。 第3图是本发明的第二实施例之概要图,表示一个 正排量送液装置。 第4图是本发明之第二实施例之特性图,表示送液 腔室内压力和风箱状容器变形之关系。 第5图是根据本发明的第三实施例之概要图,表示 一个正排量型送液装置。 第6图是表示第5图的正排量型送液装置之部份放 大横断面图。 第7图是本发明的第四实施例之概要图,表示一个 正排量型送液装置。 第8图为表示在第7图的装置在最初处理时之泵送 流送速率与时间之间的关系之特性图。 第9图是本发明的第五实施例之概要图,表示一个 正排量型送液装置。 第10图是表示第9图的装置在最初处理时,该泵送流 送速率和时间之间的关系之特性图。 第11图是本发明的第六实施例之概要图,表示一个 正排量型送液装置。 第12图是一张时间图表,表示经由第11图之排量型 送液装置执行之一个控制程序。 |
