发明名称 |
Manufacturing method for piezoceramic multilayer actuators |
摘要 |
<p>Zur Herstellung von Vielschichtaktoren wird das Laminat in einzelne Aktoren aufgeteilt, die pyrolysiert und anschließend gesintert werden. Weil das Laminieren im ungesinterten Körper häufig Inhomogenitäten der Dichte erzeugt und die Schwindung beim keramischen Brand keine konstante Größe darstellt, kann die Endgeometrie der Aktoren nur durch Hartbearbeitung der gesinterten Aktoren in der geforderten Genauigkeit erzeugt werden. Dabei werden aber die in die Aktoren eingelagerten Innenelektrodenschichten ebenfalls mit bearbeitet, was im Betrieb elektrische Überschläge und Leckströme verursachen kann. Erfindungsgemäß wird deshalb so verfahren, dass der Block der gestapelten, mit Innenelektroden versehenen Grünfolien laminiert wird, dass aus dem Block mindestens ein Aktor herausgetrennt wird, dass der Aktor durch eine Bearbeitung seine Form erhält, dass er anschließend gesintert wird, dass die beim Sintern entstandene Sinterhaut als Isolierschicht genutzt wird und dass die Sinterhaut an den Stellen abgetragen wird, an denen die Innenelektroden an die Außenelektroden angeschlossen werden. <IMAGE></p> |
申请公布号 |
EP1235285(A2) |
申请公布日期 |
2002.08.28 |
申请号 |
EP20020003649 |
申请日期 |
2002.02.18 |
申请人 |
CERAMTEC AG INNOVATIVE CERAMIC ENGINEERING |
发明人 |
SCHREINER, HANS-JUERGEN, DR.;BINDIG, REINER;SIMMERL, MATTHIAS;SCHMIDT, JUERGEN |
分类号 |
H01L41/083;H01L41/273;H01L41/335;H01L41/39;H02N2/02;(IPC1-7):H01L41/24 |
主分类号 |
H01L41/083 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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