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发明名称
TRANSFER DEVICE FOR CONVEYOR FOR CARRYING WAFER SHEET
摘要
申请公布号
JP2002237512(A)
申请公布日期
2002.08.23
申请号
JP20010073088
申请日期
2001.02.08
申请人
HAYASHI TAKEHIDE
发明人
HAYASHI TAKEHIDE
分类号
B65G1/00;B65G49/07;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
B65G1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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