发明名称 分开间隔物之装置及方法
摘要 一种分开间隔物之装置及方法。当一个在其上已完成前一装置内工作之基体被置于一处理站上时,装置控制器会将来自主机或操作员介面关于基体大小之资讯与安装在处理站上之位置感测器所侦测到之基体大小之资讯加以比较。若这两个来源之资讯不同时,控制器即发出警示,此时用于在其上将间隔物分散于基体上之工作台即会按照基体实际大小之资讯调整台之大小。装置控制台进行此一工作而将用于在其上装载基体之工作台之大小改变成与基体之大小相当。接下来装置控制器即控制一装载机器人将置于处理站上之基体装载于工作台上之装载区内并驱动间隔物分开装置将间隔物分散于基体上。因此,即使基体之大小有所改变,仍可继续分散间隔物而不必更换工作台,从而改善工作效率。
申请公布号 TW499601 申请公布日期 2002.08.21
申请号 TW089110862 申请日期 2000.06.03
申请人 三星电子股份有限公司 发明人 容后补呈;李寿元;南孝学;申铉光
分类号 G02F1/13;H01L21/00 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人 陈长文 台北巿敦化北路二○一号七楼
主权项 1.一种间隔物分开装置,含有: 一个在其上装载不同大小基体之工作台,该工作台 之大小按照基体之大小而改变; 一个将基体装于工作台上之装载器; 一个间隔物分开单元把间隔物分散于放在工作台 上之积体上;及 一个装置控制器用来控制装载器将基体装于工作 台上,调整工作台之大小使之与基体之大小相称并 驱动间隔物分开单元。2.根据申请专利范围第1项 之装置,其中之工作台含有若干可独立升起与降下 之装载区而装置控制器选择性地升起工作台之装 载区使与基体之大小相称并控制装载器将基体放 在已升起之装载区上。3.根据申请专利范围第1项 之装置,其中之工作台含有若干可独立向工作台下 方摺叠之装载区而装置控制器选择性地摺叠工作 台之装载区使与基体之大小相称并控制装载器将 基放在未摺叠之装载区上。4.根据申请专利范围 第1项之装置,该装置更含有若干装在工作台内且 可自工作台上部表面升起与降下之支脚,装置控制 器在将基体装置至工作台上前先将支脚升起然后 控制装载器将基体放在升起之支脚上再降下支脚 使得基体与工作台上部表面齐平。5.根据申请专 利范围第1项之装置,该装置更含有一个在其上放 置已完成前一装置内工作之不同大小基体之处理 站。6.根据申请专利范围第5项之装置,该装置更含 有一个操作员用来直接输入基体大小资讯之操作 员介面及一管理基体资讯之主机,装置控制器自前 一装置、主机或操作员介面接收放在处理站上基 体大小之资讯。7.一种间隔物分开装置,含有: 一个在其上装载不同大小基体之工作台; 若干装在工作台内而按照基体大小选择性地被升 起与降下之支脚; 一个将基体放在已升起支脚上之装载器; 一个间隔物分开单元将间隔物分散于放在支脚上 之基体上;及 一个装置控制器控制装载器将基体装载至工作台 上,按照基体之大小选择性地升起支脚并当支脚升 起后驱动间隔物分开单元。8.根据申请专利范围 第7项之装置,该装置更含有一个在其上放置已完 成前一装置内工作之不同大小基体之处理站。9. 一种间隔物分开装置,含有: 一个被分为若干放置不同大小基体之装载区之工 作台,各装载区间均有孔而每个孔均连接至一个或 多个出口; 一个装载器按照基体大小将基体装载在一个或多 个装载区上; 一个间隔物分开单元将间隔物分散在置于工作台 上之基体上;及 一个装置控制器控制装载器将基体装载于装载区 上并当基体放在工作台上后驱动间隔物分开单元 。10.根据申请专利范围第9项之装置,其中之基体 按照大小分为主基体与次基体,当一个次基体放在 工作台上时,落在次基体侧边之间隔物经由孔及出 口而自工作台抛弃。11.根据申请专利范围第9项之 装置,该装置更包括一个在其上放置已完成前一装 置内工作不同大小基体之处理站。12.一种间隔物 分开之方法,包括下述步骤: 向装置控制器传送将要在其上分散间隔物之基体 大小之资讯; 按照基体大小之资讯改变在其上放置基体之工作 台之大小; 按照基体大小之资讯控制装载器之运动距离并将 基体装载于工作台上;及 将间隔物分散于装载于工作台上之基体上。13.根 据申请专利范围第12项之方法,其中之工作台含有 若干可独立升降之装载区而装置控制器选择性地 升起工作台之装载区使与基体之大小相称并控制 装载器将基体放在已升起之装载区上。14.根据申 请专利范围第12项之方法,其中之工作台含有若干 能独立向工作台下方摺叠之装载区而装置控制器 选择性地摺叠工作台之装载区使与基体之大小相 称并控制装载器将基体装载至未摺叠之装载区上 。15.根据申请专利范围第12项之方法,该方法更包 括下述步骤: 将在其上已完成前一装置内工作之基体置于处理 站上; 侦测放在处理站上基离之大小; 由装置控制器将侦得之基体大小之资讯与传送来 之基体大小之资讯加以比较而当资讯有所不同时 即输出警示;及 按照所侦得之基体大小资讯调整工作台大小。16. 根据申请专利范围第15项之方法,其中之装置控制 器自一主机、前一装置或操作员介面接收放在处 理站上基体大小之资讯并调整工作台之装载区域 。17.一种间隔物分开之方法,包括下述步骤: 传送在其上将要分散间隔物之基体大小之资讯; 按照基体大小之资讯选择性地升起装在其上放置 基体之工作台内之若干支脚; 按照基体大小之资讯控制装载器之运动距离并将 基体置于已升起之支脚上;及 将间分段隔物分散于放在支脚上之基体上。18.根 据申请专利范围第17项之方法,该方法更包括下述 步骤: 将在其上已完成前一装置内工作之基体放在处理 站上; 侦测放在处理站上基体之大小; 由装置控制器将基体大小之资讯与传来之基体大 小资讯加以比较而当资讯有所不同时即输出警示; 及 按照侦得之基体大小资讯选择性地升起支脚。图 式简单说明: 图1为本发明分开间隔物装置较佳实例之方块图; 图2为本发明第一较佳实例中工作台之顶部俯视图 ; 图3为本发明处理站及装载机器人较佳实例之略图 ; 图4(a)与4(b)为图2所示工作台之侧面图,示出支杆之 调整情形; 图5(a)至5(c)为图3所示装载机器人之略图,分别示出 装载一基体、1/2基体与1/3基体之情形; 图6(a)至6(c)为本发明第二较佳实例中工作台之侧 面图; 图7(a)与7(b)为本发明第三较佳实例工作台之顶部 俯视与断面图; 图8(a)与8(b)为本发明第四较佳实例工作台顶部俯 视图; 图9为本发明间隔物分开装置作业较佳实例之流程 图。
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