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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER STRUKTUR UNTER VERWENDUNG VON WIEDERABLAGERUNG
摘要
申请公布号 DE69622261(D1) 申请公布日期 2002.08.14
申请号 DE19966022261 申请日期 1996.02.21
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC. 发明人 MCCLURE, A.;NEW, C.
分类号 H01L21/8242;H01L21/02;H01L21/3213;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/824;H01L21/320;H01L21/311;H01L21/321 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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