| 发明名称 |
Material für der Herstellung von dünner Schichten und dünne Schichten Herstellungsprozess |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE69710290(T2) |
申请公布日期 |
2002.08.14 |
| 申请号 |
DE19976010290T |
申请日期 |
1997.11.11 |
| 申请人 |
CANON K.K., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
MIYAZAWA, YOSHIKAZU;AOKI, TOMONORI |
| 分类号 |
B05D7/24;C23C14/12;C23C14/22;(IPC1-7):B05D7/24;C23C16/44 |
主分类号 |
B05D7/24 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
