| 发明名称 |
Target/backing plate assemblies |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002249859(A1) |
申请公布日期 |
2002.08.12 |
| 申请号 |
AU20020249859 |
申请日期 |
2001.10.19 |
| 申请人 |
HONEYWELL INTERNATIONAL INC. |
发明人 |
RON D. KOHLER;MATHEW S. COOPER |
| 分类号 |
C23C14/34;H01J37/34;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/34;H01J37/00 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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