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发明名称 Fabrication of high resistivity structures using focused ion beams
摘要
申请公布号 AU2002240060(A1) 申请公布日期 2002.08.06
申请号 AU20020240060 申请日期 2002.01.25
申请人 FEI COMPANY 发明人 TUNG MAI;NEIL J. BASSOM
分类号 C23C16/48;C23C16/04;H01L21/02;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/44;H01L21/31;H01L21/469 主分类号 C23C16/48
代理机构 代理人
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