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摘要
申请公布号
JPH0575062(B2)
申请公布日期
1993.10.19
申请号
JP19850244747
申请日期
1985.10.31
申请人
DAINIPPON PRINTING CO LTD
发明人
WATANABE KAZUO
分类号
G01N21/88;G01B11/24;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88
主分类号
G01N21/88
代理机构
代理人
主权项
地址
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