| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING A CONTACT PLUG OF A SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB9325796(D0) |
申请公布日期 |
1994.02.16 |
| 申请号 |
GB19930025796 |
申请日期 |
1993.12.16 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO LIMITED |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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