| 发明名称 |
Copolymer resin, preparation thereof and photoresist comprising the same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2332679(B) |
申请公布日期 |
2002.07.24 |
| 申请号 |
GB19980027043 |
申请日期 |
1998.12.09 |
| 申请人 |
* HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. |
发明人 |
MIN HO * JUNG;JAE-CHANG * JUNG;CHEOL KYU * BOK;KI HO * BAIK |
| 分类号 |
G03F7/029;C08F222/06;C08F232/08;C08F277/00;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):C08F232/08;G03F7/038 |
主分类号 |
G03F7/029 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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