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发明名称
method for forming capacitors and field effect transistors in a semiconductor integrated circuit device
摘要
申请公布号
US6423584(B1)
申请公布日期
2002.07.23
申请号
US09/811598
申请日期
2001.03.20
申请人
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
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