发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 SG90171(A1) 申请公布日期 2002.07.23
申请号 SG20000005437 申请日期 2000.09.26
申请人 DATA STORAGE INSTITUTE 发明人 SHI JIAN ZHONG;WANG JIAN PING
分类号 C23C14/35;C23C14/56;(IPC1-7):H01J37/34;C23C14/34 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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