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发明名称 Gerät zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung mit Vakuumsystem
摘要
申请公布号 DE69616481(T2) 申请公布日期 2002.07.11
申请号 DE1996616481T 申请日期 1996.06.07
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 JEON, JAE-SUN;YANG, YUN-MO;KIM, WON-YEONG;CHAE, SEUNG-KI
分类号 C30B31/22;B65G49/07;C23C14/24;C23C14/56;C30B35/00;H01J37/18;H01L21/00;H01L21/08;H01L21/205;H01L21/265;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 C30B31/22
代理机构 代理人
主权项
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