| 发明名称 | 基板搬送模块以及基板处理系统 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种基板搬送模块和基板处理系统，装载模块(14)通过负载锁定模块(12)与对晶片W实施蚀刻处理的处理模块(11)连接并且具有搬送晶片W的基板搬送装置(16)和收容该基板搬送装置(16)的搬送室(15)，该搬送室(15)内与外部氛围气体隔绝，搬送室(15)内的压力为大气压，基板搬送装置(16)具有保持晶片W的拾取器(19)和使该拾取器(19)移动的臂部(20)，装载模块(14)具有隔绝装置(18)，其收容拾取器(19)和该拾取器(19)所保持的晶片W，使得与搬送室(15)的内部氛围气体相隔绝。由此能够防止构成部件发生腐蚀、颗粒向基板的附着、基板搬送模块成本的提高和大型化。 | ||
| 申请公布号 | CN101355021A | 申请公布日期 | 2009.01.28 |
| 申请号 | CN200810144356.7 | 申请日期 | 2008.07.28 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 山涌纯;守屋刚 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/02(2006.01);H01L21/677(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘春成 |
| 主权项 | 1.一种基板搬送模块，其与对基板实施规定处理的基板处理模块连接，并且具有搬送所述基板的基板搬送装置以及收容该基板搬送装置的搬送室，该搬送室内与外部氛围气体相隔绝，所述基板搬送装置具有保持所述基板的保持部以及使该保持部移动的移动部，所述基板搬送模块的特征在于，具有：隔绝装置，至少将所述保持部以及保持在该保持部上的所述基板与所述搬送室的内部氛围相隔绝。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||