发明名称 Herstellung von GaAs Bauelementen mit dotierten Gebieten und dadurch hergestellte Bauelemente
摘要
申请公布号 DE69232213(T2) 申请公布日期 2002.06.27
申请号 DE1992632213T 申请日期 1992.02.21
申请人 AT & T CORP., NEW YORK 发明人 ABERNATHY, CAMMY RENEE;REN, FAN
分类号 H01L21/203;H01L21/205;H01L21/331;H01L29/205;H01L29/207;H01L29/73;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/205;C30B25/02 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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