| 主权项 |
1.一种真空处理室,其特征包含:真空槽;以及面板保持机构,配置于该真空槽内,其中该面板保持机构具有在该面板的表面互相对向的状态下,水平地配置构成电浆显示装置的两片面板,俾可进行该面板的相对对位来构成的面板保持机构,其中该面板保持机构具有上侧的面板保持台与下侧的面板保持台,各面板保持台系分别用以可附着保持该面板来构成,在该面板保持台配设加热机构,该加热机构在附着保持该而板的状态下,俾可藉由热传导加热该面板来构成。2.如申请专利范围第1项所述之真空处理室,其中在该面板保持台配设静电吸附装置。3.如申请专利范围第1项所述之真空处理室,其中在该真空槽配设气体导入机构,在该面板保持台配设真空吸附装置。4.如申请专利范围第1项所述之真空处理室,其中更具有可将片状管抵接于该面板表面来构成的抵接机构。5.如申请专利范围第1项所述之真空处理室,其中,包含:驱动机构,配置于该真空槽外;以及传达机构,在维持真空槽内的真空状态下,将该驱动机构所生成的驱动力传达到该面板保持机构。6.一种电浆显示装置的制造装置,其特征包含:形成膜室,由前面板与后面板制造电浆显示装置,在该前面板表面形成保护膜;预烤室,加热该后面板进行脱气处理;以及传送室,均连接于该形成膜室以及该预烤室的任一个,具备该前面板以及该后面板的传送机构,其中具有连接于该传送室的真空处理室,该真空处理室包含:真空槽;以及面板保持机构,配置于该真空槽内,该面板保持机构具有在该面板的表面互相对向的状态下,水平地配置构成电浆显示装置的两片面板,俾可进行该面板的相对对位来构成的面板保持机构,其中该面板保持机构具有上侧的面板保持台与下侧的面板保持台,各面板保持台系分别用以可附着保持该面板来构成,在该面板保持台配设加热机构,该加热机构在附着保持该面板的状态下,俾可藉由热传导加热该面板来构成。7.如申请专利范围第6项所述之电浆显示装置的制造装置,其中在该面板保持台配设静电吸附装置。8.如申请专利范围第6项所述之电浆显示装置的制造装置,其中在该真空槽配设气体导入机构,在该面板保持台配设真空吸附装置。9.如申请专利范围第6项所述之电浆显示装置的制造装置,其中更具有可将片状管抵接于该面板表面来构成的抵接机构。10.如申请专利范围第6项所述之电浆显示装置的制造装置,其中包含:驱动机构,配置于该真空槽外;以及传达机构,在维持真空槽内的真空状态下,将该驱动机构所生成的驱动力传达到该面板保持机构。11.如申请专利范围第6项所述之电浆显示装置的制造装置,其中该传送室系连接密封该前面板与该后面板的密封室。12.一种电浆显示装置的制造方法,其特征包含:加热工程,以热后面板、进行脱气处理;对位工程,将该后面板与表面形成保护膜的前面板分别吸附于面板保持台,在该面板的表面互伸对向的状态下,进行该后面板与该前面板的对位;密封工程,在使形成于该后面板表面的周边部之密封材质与该前面做接触后,加热该密封材质使其熔融,在紧压该后面板与该前面板之间成预定间隙为止后,藉由冷却该密封材质使其凝固,以密封该后面板与该前面板,其中该对位工程中的该后面板的温度仅比该加热工程中的该后面板的温度低预定温度来构成。13.如申请专利范围第12项所述之电浆显示装置的制造方法,其中该加热工程、该对位工程与该密封工程均在同一处理室内进行。14.如申请专利范围第12项所述之电浆显示装置的制造方法,其中该加热工程、该对位工程以及该密封工程均在真空环境中进行。15.如申请专利范围第13项所述之电浆显示装置的制造方法,其中该加热工程、该对位工程以及该密封工程均在真空环境中进行。16.如申请专利范围第14项所述之电浆显示装置的制造方法,其中在该对位工程与该密封工程中,该前面板以及该后面板系被静电吸附于该而板保持台。17.如申请专利范围第12项所述之电浆显示装置的制造方法,其中该对位工程与该密封工程系在大气压条件下进行,在该对位工程与该密封工程中,该前面板以及该后面板系被真空吸附于该面板保持台。18.如申请专利范围第12项所述之电浆显示装置的制造方法,其中在该对位工程前,更具有控制该前面板的温度之工程,俾变成与该对位工程中的该后面板的温度相同的温度。19.如申请专利范围第12项所述之电浆显示装置的制造方法,其中在该密封工程前,更具有将前端配设热熔融性的黏着材质之片状管,抵接于该前面板或该后面板的任何一方或两方之工程,在该密封工程加热该密封材质并且加热该黏着材质使其熔融,藉由冷却该黏着材质使其凝固,以该黏着材质使该片状管固定于该前面板或后面板的任何一方或两方。图式简单说明:图1系说明本发明的一实施形态的制造装置的构成图。图2系说明本发明的一实施形态的制造装置的传送室周边的处理室的连接关系图。图3系说明本发明的一实施形态的定位密封室的构成之侧剖面图。图4系说明将前面板传入本发明的一实施形态的定位密封室的工程图。图5系说明接着的工程图。图6系说明接着的工程图。图7系说明接着的工程图。图8系说明接着的工程图。图9系说明接着的工程图。图10系说明将后面板传入本发明的一实施形态的定位密封室的工程图。图11系说明接着的工程图。图12系说明关于本发明的一实施形态的定位密封室的对位之机构的图。图13系说明定位密封室中的密封工程图。图14系说明接着的工程图。图15系说明本发明的其他实施形态的定位密封室的图。图16(a):系说明一般的电浆显示装置的图。(b):系说明一般的后面板的剖面图。图17系说明习知的制造装置的构成图。 |
