用于SMIF和开启容器的通用工具接口和/或工件传送装置

摘要

一种通用SMIF容器接口和晶片盒传送装置(100),可构成为分度器或负载通道开启器。该装置包括具有中心开口(175)的通道板(102)和通道门(104),当没有容器时,所述通道门配置在中心开口内并密封中心开口。该装置还包括线性驱动螺杆(120)、电机(114)和用于旋转线性驱动螺杆的传动装置(118,124,122)。利用线性驱动螺杆可使支架(128)垂直移动。作为分度器时将通道板安装到支架上,以使通道板可在固定的通道门上方垂直移动。作为负载通道开启器时将通道门安装到支架上,以使通道门可在固定的通道板下方垂直移动。

主权项

1.在容器与处理工具之间便于传送工件装载盒的装置，该容器包括容器门和容器壳，该装置包括：一底座；一固定于所述底座的框架；一包括相对于所述框架可垂直移动的支架的移动组件；一能够支撑容器壳的通道板，所述通道板可固定于所述支架上，以相对于所述框架垂直移动，所述通道板可稳定地固定于所述框架上；一能够支撑容器门的通道门，所述通道门可固定于所述支架上，以相对于所述框架垂直地移动，所述通道门可稳定地固定于所述底座上；和将所述通道板或所述通道门固定于所述支架上的装置。