NUEVO PROCEDIMIENTO PARA EL PULIDO MECANICO-QUIMICO DE CAPAS DE MATERIALES AISLANTES A BASE DE DERIVADOS DEL SILICIO O DE SILICIO.

摘要

METODO DE LIMPIEZA MECANICO - QUIMICA DE UNA CAPA DE MATERIAL AISLANTE A BASE DE SILICIO O DE UN DERIVADO DEL SILICIO EN EL CUAL SE PROCEDE A UNA ABRASION DE LA CAPA DE MATERIAL AISLANTE FROTANDOLA CON AYUDA DE UN TEJIDO QUE APLICA UN ABRASIVO FORMADO POR UNA SUSPENSION ACUOSA ACIDA DE SILICE COLOIDAL QUE CONTIENE PARTICULAS DE SILICE COLOIDAL INDIVIDUALIZADAS, NO UNIDAS ENTRE ELLAS POR ENLACES SILOXANO, Y AGUA COMO MEDIO DE SUSPENSION Y NUEVOS ABRASIVOS A BASE DE TALES SUSPENSIONES.