化学－机械抛光软垫的修磨器及其制造方法

摘要

一种化学一机械抛光软垫的修磨器及一种制造这种软垫修磨器的方法,该修磨器表面有大量均匀间隔的磨料颗粒,颗粒质地为金刚石或立方氮化硼等。磨料颗粒钎焊于基底,再覆以一层含有金刚石或仿金刚石石墨的防腐层,以防钎焊料合金受化学研磨膏的腐蚀。这种措施使修磨器得以在软垫进行抛光工作的同时修磨软垫。此外,磨料颗粒还基本等高地突出基底,使垂直、水平两方向均得以均匀地梳理或修磨软垫。

主权项

1.一种化学—机械抛光软垫的修磨器，包括尺寸在所需范围内且固接于基底的大量磨料颗粒，其特征在于：磨料颗粒在基底上固接成相互均匀间隔，并以一种预定的高度突出基底。